REPAIR
半導体製造装置 修理・再生・オーバーホール
メーカー修理が終了しても、装置は止められない。
GMJは設立当初からアフターマーケット修理に特化し、電源・RPS・ターボポンプまで幅広く対応しています。
WHY GMJ
Our Repair Capabilities
純正修理が受けられなくなった装置でも実機確認のうえ修理・再生対応。装置の延命・安定稼働を支援します。
修理着手前に診断・お見積りをご提示。ご承認後に作業開始しますので、コスト面でも安心してご依頼ください。
モーター・RF電源・RPS・ターボポンプ・DC電源・ETOラックまで、多様な修理ニーズに対応しています。
TRACK RECORD
Repair Results
01
MOTOR DRIVER REPAIR
02
TURBOMOLECULAR PUMP OVERHAUL
03
BOARD REPAIR
04
ETO RACK PARTS REPAIR
05
RF POWER SUPPLY / RPS / OZONE GENERATOR
06
DC POWER SUPPLY REPAIR
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